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BioLab 박소정 교수
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질문 Spin coating 샘플을 FIB 없이 TEM 시편 제작이 가능한가요?
알재료쟁이(대학생)  | 09.29 16:18
제가 분석하려는 샘플은 스핀코팅을 통해서 만들고 두께는 400nm정도 됩니다.(농도,Rpm에 따라서 두께는 조절할 수 있습니다) 일반적으로 FIB를 이용하여 시편제작 후 TEM 분석을 하는 것으로 알고 있고 그렇게 진행하였는데 아무래도 저의 샘플이 FIB 과정 중에 damage를 입는 것으로 확인이 되었고 수분에 매우 취약하다보니 FIB 후 TEM 장비로 이동하는 짧은 시간동안에도 영향을 크게 받는 것 같습니다.

자세하게 기술되어 있지는 않지만 Cu mesh 위에 얇게 코팅하여 측정하는 논문도 봤는데 해당 방법으로 분석 해보신 분 있으시다면 조언 주시면 감사할 것 같습니다.
#TEM
 
#Spin coating
 
#FIB
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