실험 Q&A Chemical biology > Synthesis
반도체 공정 PECVD
레벨1 elzkdnem (대학생)
PECVD를 이용해 insulator 를 증착하는과정에서 궁금한 사항이 있습니다.
기존 SiO2 증착은 아니고 EDL 층을 구현하기 위한 과정입니다.
SiH4 94% + PH3 6 %를 혼합한 가스와 O2를 반응 시키면
-> SiH4 = Si+2H2
-> PH3 =P + 3/2H2
따라서,(Si+P) +7/2H2 가 나오게 됩니다. 이에 O2를 반응시켜
Si-OH+ / P-OH+를 형성하고 전압을 걸어주어 H+가 호핑하여 interface로 가게 되는 과정인데 궁금한 사항은 처음에 PH3를 혼합해주는 이유가 궁금합니다.
보통 PH3는 도핑으로 자유전자를 공급해주기 위함인데 여기서는 어떤 이유로 사용되는지 궁금합니다.
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