작은 조각 시편까지 안정적으로 잡아주는 인터록 안전형 스핀코터

조각시편용 알루미늄 척 + 무오일 진공펌프 기본 포함
최대 100개 프로그램 저장으로 반복 공정을 그대로 재현

Programmable Spin Coater | Max 8,000 rpm

작은 조각 시편도,
균일한 박막으로

KISC-4 인터록 안전형 스핀코터

KISC-4는 웨이퍼를 잘라낸 조각이나 작은 시편을 진공으로 흡착해 코팅하는 조각시편용 척 구성의 스핀코터입니다. 50~8,000 rpm 범위를 ±1 rpm으로 제어하고, 회전 조건을 최대 100개까지 저장해 반복 실험의 재현성을 높입니다. 덮개를 열면 회전이 멈추는 인터록 구조로 여러 연구자가 함께 쓰는 실험실에서도 안심하고 사용할 수 있습니다.

정교한 제어와 안전 설계를 갖춘 시스템

조각시편용 척 (외경 2mm ~ 10ø)

조각 형태의 시편을 진공으로 흡착·고정해 스핀 코팅할 수 있도록 설계된 척입니다. 기판보다 큰 척이나 노출된 진공홀은 흡착 불안정과 코팅 편차의 원인이 되므로, 작은 시편은 전용 척을 쓰는 것이 결과를 좌우합니다. 기판 크기·형태에 맞춘 특수 척 제작도 가능합니다.

100개 프로그램 저장 & 특허 실시간 그래픽 모드

프로그램 100개, 프로그램당 100단계까지 속도·시간을 저장하고 바로 불러와 반복 공정을 일관되게 재현합니다. 운전 중에는 RPM 변화를 LCD 그래프로 실시간 확인할 수 있습니다(특허 제10-0936100호).

저속부터 고속까지, 정밀하게 제어

폭넓은 회전 범위와 초당 3,000 RPM의 가속·감속으로 단계별 회전 조건을 설정합니다.

50~8,000 RPM

회전 속도 범위

±1 rpm

회전 속도 정밀도

3,000 RPM/sec

최대 가속·감속

소음제어 / Noise Control저진동·저소음 설계

소음과 진동을 줄여 조용하게 운전합니다.

안전제어 / InterLock Safety덮개 열림 시 회전 정지

덮개를 열면 회전이 멈추는 인터록 안전 기능을 적용했습니다.

스핀 코팅은 세 단계로 이어집니다.

도포·확산·박막 형성의 흐름을 한눈에 확인하세요.

1단계용액 도포

진공척에 고정한 기판 중앙에 코팅 용액을 떨어뜨립니다. 조각 시편은 전용 척으로 단단히 흡착해야 흔들림 없이 균일하게 도포됩니다.

2단계회전·확산

설정한 속도로 회전하면 원심력에 의해 용액이 가장자리까지 고르게 퍼지고, 남는 용액은 바깥으로 날아가 보울에 모입니다.

3단계박막 형성

회전하는 동안 용매가 증발하며 막이 굳습니다. 막 두께는 회전 속도, 시간, 용액 점도로 결정되며 속도가 높을수록 얇아집니다.

KISC-4는 이 세 단계를 속도·시간별 프로그램으로 저장해, 같은 두께의 막을 반복해서 만들 수 있습니다.

박막 코팅 연구의 다양한 현장에서

반도체

웨이퍼 조각 위 포토레지스트와 기능성 박막 코팅에 활용됩니다.

디스플레이·전자소재

유리·전극 기판의 균일 코팅과 박막 공정 연구에 쓰입니다.

바이오센서

전극·센서 기판 위 감응막과 기능성 용액 도포에 적합합니다.

기능성 소재

신규 용액의 도포성, 막 두께, 균일도 조건 평가에 활용됩니다.

Specification

항목	상세 사양
모델명	KISC-4 (KISC-4 본체 + 조각시편용 알루미늄 척)
장비 구성	본체 + SUS 보울 + Oil-less Vacuum Pump 포함
회전 속도 범위 / 정밀도	50 – 8,000 rpm / ±1 rpm
최대 가속 · 감속	3,000 rpm/sec
프로그램 / 운전 시간	100개 × 100단계 / 1 – 999 sec
척 구성	조각시편용 알루미늄 진공척 (외경 50 mm, 돌출부 5 mm)
적용 기판 크기	~ 4 inch (저속 시 6 inch 가능)
보울	SUS (스테인리스)
진공 조건	-450 – -650 mmHg
안전 기능	인터록 (덮개 열림 시 회전 정지 · Start 잠금)
외형 크기	W 320 × D 420 × H 240 (mm)
전원 사양	AC 220 V, 50/60 Hz